設備名稱 自動顯影機  品牌型號 MAX100SVS 

設備用途
通過高速旋轉的電機帶動晶圓轉動，結合自動噴涂顯影液和背洗，從而實現晶圓的顯影工藝。帶有自動熱板和冷板。

主要技術指標：
可用晶圓尺寸：2inch 3inch
最大轉速：4500rpm
轉速偏差：±5RPM
熱板溫度范圍： 室溫-160℃
冷板溫度范圍：室溫-25℃
顯影均勻性：5%

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