產品中心
聯系我們
手機： 0532-86625732
郵箱： mamie_chm@126.com
地址： 青島市膠州市上合示范區閩江路60號
設備名稱：自動紫外光刻機 品牌型號 SUSS MA6
設備用途
光刻機發出的紫外光通過具有特定圖形結構的掩膜版對樣片曝光，然后通過顯影將掩膜版上的圖形結構轉移到樣片表面的光刻膠上。
主要技術指標：
可選波長：365nm 405nm 436nm
可加工尺寸：2inch 3inch 4inch晶圓和≥1cm2碎片
極限分辨率：0.8um
正面套刻精度：≤0.25um
曝光穩定性：±1%
曝光模式：真空接觸、硬接觸、軟接觸和泛曝光
